深圳永兴达超声投入式超声波震板
YXD-1000系列投入式超声波震板由震板及超声波发生器两部分组成,适用于放置在各种容器内,根据安装位置不同可做成底震式,侧震式和顶震式,适应各种不同清洗要求。
分体式结构,震板与超声波发生器之间采用高频线连接,使用及保养均方便
全不锈钢结构,耐酸耐碱,美观耐用,特殊溶液时也可选用钛板等材料制作
可选择采用28KHZ,40KHZ,68KHZ,80KHZ,120KHZ,170KHZ的工作频率。
安装布置灵活,根据需要超声辐射面可布置在清洗槽的底面、侧面或顶面
美国高Q值换能器,超声功率强劲,经久不衰
产品功能
1、炉前清洗:扩散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻胶。
3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛得沾污。
5、外延前清洗:除去埋层扩散后的二氧化硅及表面污物。
6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及广胶残渣。
7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,二氧化硅层。
8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。
9、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。
10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。